净化车间的主要作用_净化车间的节能措施

 xinwen   2019-07-31 11:18   7 人阅读  0 条评论

【一、净化车间的主要作用】

净化车间的主要功能是控制产品(如硅片)暴露于其中的空气的清洁度和温度湿度,以便产品能够在良好的环境空间中生产和制造,我们称之为净化车间。根据国际惯例,无尘净化水平主要根据每立方米空气中直径大于分类标准的颗粒数量来定义。换句话说,所谓的无尘不是100%没有灰尘,而是控制在非常少量的单元中。当然,与普通灰尘相比,本标准中符合灰尘标准的颗粒已经很小,但是对于光学结构来说,即使是一点点灰尘也会产生很大的负面影响,所以在光学结构产品的生产中,无尘净化车间是不可避免的要求。

净化车间将小于0每立方米。粒径为3微米的细粉尘数量控制在3500以下,达到国际无尘标准的A级。目前,在净化车间芯片级生产加工中应用的无尘标准对粉尘的要求高于甲级标准。如此高的标准主要应用于高品位的芯片生产。5μm以下的细粉尘量严格控制在每立方米1000以内,这在工业上也称为1K级。

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【二、净化车间的节能措施】

净化车间是一个巨大的能源消耗者,因为保持清洁的生产环境需要空气清洁度、压力差、温度和相对湿度。 为防止污染和交叉污染,净化车间应根据产品生产工艺的要求,消除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全部或部分排风装置。 同时,相应或必要的室外新鲜空气应送入净化车间。 根据不同空气洁净度水平的要求,必须有必要的空气交换率/供气量。

为了进行正常的产品生产,净化车间的生产工艺设备需要提供电力、纯净气体、纯水、高纯化学品等。 根据产品的特点。 这些也需要消耗大量的能量。 随着电力等能源的消耗,净化车间产生的各种形式的热值需要冷却生产停止时,排气柜应减少排气量,并相应调整新鲜空气量 有时,需要冷却的热负荷量是不可忽视的过渡季节是否增加新风比,值班运行模式是否提前开始运行,要通过经济比较来确定。

由于无尘室的空气洁净度水平和生产工艺要求不同,净化车间要求的净化空调系统的冷却负荷与一般工业厂房或办公楼的一般空调系统的冷却负荷相比约为与一般空调系统一样,在运行过程中的某些季节,应尽可能多地使用自然冷却(室外空气冷却和冬季冷水冷却塔)093-62二、万级洁净室操作注意事项0 kJ/(㎡。h),而办公楼一般空调系统的冷负荷仅为33最后一点:为什么制造企业要做无尘车间-502 kJ/(㎡/h)。半导体集成电路制造或生物医学产品的主要生产过程需要在无尘室中进行。为了保持必要的空气洁净度水平,需要在高效过滤后将大量空气送入无尘室。办公楼普通空调房间的空气交换率是20倍。H-1或更少,而大规模集成电路生产所需的5级(100级)、5级(10级)和3级(1级)无尘室的通风次数可达数百次,供气量将比前者大10至100倍。因此,无尘室中的清洁空调系统及其冰箱的功耗远远大于其他类型建筑物中的普通空调系统及其冰箱的功耗。据调查统计,大型综合用电约占工厂总用电的50%。 制药厂洁净车间净化空调系统和冰箱的耗电量约占工厂总耗电量的60%!

如果万级洁净室不采取新的节能措施——创新设计方法、开发新的节能设备、提高运行管理水平,将无法满足消费者的需求。因此,各公司将从设计、运行管理和研发等方面考虑各种降低能耗的手段和措施,以净化净化车间。

万级无尘室节能措施

1、选址、建筑布局和工艺设置的合理性可以从根本上降低初始投资和运营成本。

2、缩小净化空间是实现节能的快速有效途径,也是大家关注的方向。净化系统的风量取决于房间的风量和换气率,换气率主要由洁净度水平决定,因此减少净化系统的风量可以减少净化空间。因为低风速量化,合理选择通风时间,可以降低送风能耗。同时,在管道设计中可以尽可能降低系统的阻力,也可以达到降低供气功耗的效果。

3、正确确定生产设备的热负荷直接关系到所选择的空调和制冷设备。

4、空调和净化功能的分离有利于各自技术经济合理性的发展。

5、过程和空调系统中的热量回收是一项可以直接受益的措施,因此这部分热量应该得到充分利用,以最大限度地利用一切。

6、设计方案应具有良好的适应性(灵活性)。

7、室内通风率和最终过滤效率(达到相同水平)之间的组合需要进行经济比较。

8、根据不同的工艺流程,应有效控制室内空气变化。

9、提高空调净化系统的自控水平,不仅可以保证运行质量,还可以达到节能的目的。

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